阿斯麦是全球芯片制造设备领导厂商,它虽然不直接设计和生产芯片,但却掌握了芯片制造最核心的“光刻”技术环节。这家企业用参展进博会的实际行动,展示了其支持全球半导体行业的开放与协作的决心。
ASML已在全球光刻机市场领先多年,是全球目前唯一能够将EUV光刻机量产化的企业。无论是逻辑芯片供应商,或是存储芯片供应商,都要用到其光刻机系统。客观说,ASML从硬实力上完全有能力给中国芯片市场设障碍,但显然,这家企业并没有这么做,而是克服疫情,积极报名参加了第三届进博会。
ASML在进博会上展示了自家能够生产7nm的DUV光刻机,至于没有展示最先进的EUV光刻机,主要还是受到美国禁令的影响无法对中国售出EUV光刻机,所以这次只能带了DUV光刻机进入中国市场。值得注意的是,目前阿斯麦向中国客户供应的DUV(高紫外光)光刻机已无需出口许可,而EUV(极紫外光)光刻机还在等荷兰政府的出口许可证。
阿斯麦全球副总裁、中国区总裁沈波在此间接受媒体采访时表示,芯片制造是一个复杂的过程,涉及上千道工序,光刻只是其中非常关键的一道,更多工作需要和客户一起完成。目前国内市场上已有700多台阿斯麦的光刻机投入运转,许多芯片制造企业都已是阿斯麦的合作伙伴。他同时表态,公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度,对全球客户均一视同仁,在法律法规框架下,都将全力支持。